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文献综述
文 献 综 述在第四次工业革命的背景下，纳米制造和微细加工两个领域的技术突破，大大改变且增益了制造业，使之发生了往日翻天覆地的变化。
纳米技术即一种技术可以在纳米的尺度下（1nm100nm），进行对分子甚至原子的操作。
通过改变原子的位置以及对宏观数量级的原子或分子结构无论是平面或立体的设计，使得发现新的材料或是在已有的材料上进行改造或创新变得更加容易。
这使得人们可以控制材料的结构，例如具有增加的强度，更轻的重量以及更理想的坚固性。
纳米技术的领域非常庞杂，其中囊括了纳米制造，纳米材料以及纳米架构，它促生了许多新的学科，并且使很多现有的学科想更先进的一步发展。
[1]而在另一方面诞生于微电子工业的微细加工技术在不断的创新，其中包括用于产业化的MBE（Molecular beam epitaxy）：分子束外延技术，通常用于制备单晶硅薄膜，和MOCVD（Metal-organic Chemical Vapor Deposition）：金属有机化学气相沉积技术一种应用于半导体的微细加工技术，脉冲激光熔射，零气压溅射，高密度离子束加工，气体离化团束（GCIB）加工，反应离子束刻蚀，大规模集成电路用铜布线的电镀，以CMP（Chip multiprocessors）为代表的平坦化，原子，分子量级的人工组装等[2]。
这些为制作超大规模集成电路[3]，实现MEMS（微电机系统）和NEMS（纳米电机系统）等，提供了可靠保证。
特别的在这样的变化中，制膜工艺和薄膜材料获得了前所未有的关注和研究。
各种薄膜在高新技术中的应用更加普及。
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