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文献综述
一、选题背景与意义介质阻挡放电(Dielectric Barrier Dis-charge :DBD)如图一所示,是在两个金属电极之间的气隙中插入至少一块绝缘介质,以阻挡贯穿气隙的放电通道,故称之为介质阻挡放电,或简称 DBD 。
DBD通常采用两种电极结构,平行平板电极结构和同轴圆筒电极结构。
介质阻挡放电又称无声放电,是一种有绝缘介质插入放电空间的气体放电形式。
这种放电形式能够在常压下产生具有较高能量的非平衡等离子体,因此具有十分广阔的工业应用前景。
目前在臭氧合成、光源照明、材料表面改性等方面都获得了广泛应用 [1-2] 。
影响介质阻挡放电的因素有很多,如外加电压幅值、阻挡介质材料性质、间隙距离、电极形式、放电气体种类等 [3] 。
图一:介质阻挡放电结构DBD的研究已有很长的历史[2]:1857年, Siemens 利用同轴圆筒电极结构的 DBD 产生臭氧;1860年, Andrews将此放电命名为无声放电( silent discharge )。
从 1860 年到1900 年的40 年间,对 DBD 的研究基本停留在利用其产生臭氧和氮氧化物( NOx )。
20 世纪初, Warburg 开始了对 DBD本身放电特性的研究。
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