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文献综述
文 献 综 述摘要：结合国内外掩膜电解技术的相关论文，主要针对接触式与非接触式两种掩膜电解微加工技术做总结归纳与比较，为接下来相关研究作准备工作。
1、引言具有一定形状与尺寸的微凹坑结构在润滑，减磨损，减震等领域具有重要的应用价值，近年来国内外掩膜电解技术也有了显著发展。
特别是在如今，机械加工越来越向着微细化和精密化的方向发展，不断提升微细电解加工的工艺技术以及制造精度越来越被国内外研究所重视。
掩膜电解技术在航天、军事、汽车、模具等行业有着重要应用。
掩膜电解技术可分为接触式与非接触式，如今大多掩膜电解技术为非接触式，接触式较少，为新型技术，如今对其的相关研究并不充分。
2、掩膜电解技术的总体发展现状随着国内外研究机构对于微细电解技术的研究投入，掩膜电解技术在近几年发展迅速。
其中有不少优秀的深入研究，他们的主要研究方向集中在加工精度的提升、在三维复杂自由曲目进行加工、降低在微细电解加工中所存在的杂散腐蚀、提高其定域加工能力和减小微细电解加工间隙从而达到进行微细电解加工的加工要求。
现如今主流的方法思路依然是首先光刻出绝缘且不与电解液反应的掩膜，并将其覆盖在工件表面，随后在工件与电极间注入电解液，电解液溶解掩膜所暴露的工件部分，溶解的残渣由流动的电解液带出，去除掩膜即可得到加工完成的微凹坑阵列。
随着科学研究的不断深入以及先进制造技术的发展，表面织构在运动部件动密封、摩擦磨损、热能交换以及生物医学等众多领域有了非常广泛的应用。
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