基于线阵CCD的激光微位移传感器设计文献综述

 2022-11-22 17:07:13

文 献 综 述

研究背景:

随着现代制造业的蓬勃发展,人们对测量技术在测量范围、测量精度、测量速度以及测量实时性,都提出了更高的的要求。精密测量技术在机械制造中的重要性大大提高。在高性能的制造设备中,测量系统的成本占比已经高达30%~50%[4]。这一现状说明没有对成产原料和机床的足够测量精度,就无法达到生产要求。而生产中的几何量的测量占90%以上。因而几何量的测量又是测量中的重中之重。

传统的测量方式主要是接触式的探针测量。其优点主要有:结果稳定,量程大,精度高,重复性好,工作环境要求低,坑干扰能力强,操作简单。但同时,由于其接触性的特点一下缺点又是无法避免的。如:不适合测量材质柔软的物体,不适合测量表面易被擦伤的物体。因此,非接触测量的优势被凸显出来。其中,激光三角测量技术作为一种非接触测量方法被广泛研究。

激光三角测量技术:

激光位移传感器是一种非接触式的精密测量装置,常被用来测量物体的几何量,广泛的被应用在工业加工的现场测量当中。目前国内外对于其技术的研究主要在两个方面:一方面是提高传感器本身的测量特性,例如提高测量范围、测量精度、系统本身的抗干扰性。另一个方面就是开发新的应该用环境和测量系统以提高生产效率。

国外研究现状:

20世纪80乃年代末90年代初,国外在激光三角测量技术领域展开了研究。现在已经开发了许多较为成熟的产品。美国、日本等国的公司已经推出了多种型号的产品。国际上的高精度测量仪器公司如Keyence、米铱、MTI等都将激光三角位移传感器列为重要高技术产品[3]。

1998年A.M. Wallace, G. Zhang 1, Y. Gallaher对深度成像系统中的扫描校准或补偿进行了研究[17]。1999年,Yasunori Saito,Ryuta Saito,Takuya D Kawahara,Akio Nomura,Satomi Takeda发表了激光诱导-荧光成像激光雷达在林业应用中的发展和性能特点[16]。他们将激光测量用于林业维护。2010年Alfredo Cigada , Federico Mancosu , Stefano Manzoni ,Emanuele Zappa 发表了用于中高速道路纹理在线测量的激光三角测量装置的论文[19]。

国内研究现状:

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