电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）联用技术的应用摘 要：电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）联用技术是以电感耦合等离子体作为离子源，以质谱进行检测的无机多元素分析技术。
具有可测定的元素面宽、多元素同时检测、灵敏度高、检出限低等特点，在地质、半导体、环境、食品、冶金及生物医药等领域有着广泛的应用。
关键词：ICP-MS；电感耦合等离子体质谱联用技术；应用正 文：电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）联用技术是20世纪80年代发展起来的无机元素和同位素分析测试技术，是以电感耦合等离子体作为离子源，以质谱进行检测的无机多元素分析技术，它以独特的接口技术将电感耦合等离子体的高温电离特性与质谱计的灵敏快速扫描的优点相结合而形成一种高灵敏度的分析技术。
电感耦合等离子体(ICP)和质谱（MS）的联用是20世纪80年代初分析化学领域的创举，1980年第一篇ICP-MS可行性文章发表，3年后第一台商品化仪器便诞生了。
ICP-MS主要用于微量元素的分析检测，特别擅长对金属元素的分析检测，也能分析B、P、As等非金属元素。
ICP-MS的检测限极低，最低可以达到PPT级。
近年来，ICP-MS联用技术已成为实验室测定痕量和超痕量的例行手段，广泛应用于地质、半导体、环境、食品、冶金、及生物医药等领域。
1 ICP-MS的原理ICP-MS主要由进样系统、ICP、接口、真空系统、离子透镜、四极质量分析器、检测器及数据处理系统组成。
被分析样品通常以水溶液的气溶胶形式引入氩气流中，然后进入由射频能量激发的处于大气压下的氩等离子体中心区，等离子体的高温使样品去溶剂化、汽化解离和电离。
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