摘要
微型储能器件对于满足日益增长的微型电子设备和无线传感器网络的需求至关重要。
钠离子电容器(NIC)凭借其高能量密度、高功率密度和长循环寿命等优势，成为微型储能器件领域的理想选择。
C-MEMS工艺作为一种成熟的微纳加工技术，为构建高性能、低成本的微型NIC提供了可行的解决方案。
本文首先介绍了微型储能器件和钠离子电容器的背景和意义，以及C-MEMS技术的特点和优势。
接着，重点综述了近年来微型钠离子电容器的研究进展，包括电极材料、电解质、器件结构设计与制备等方面。
此外，还讨论了微型钠离子电容器在不同应用领域的潜力和挑战。
最后，对该领域未来的发展方向进行了展望。
关键词：微型储能器件；钠离子电容器；C-MEMS工艺；电极材料；电解质
随着物联网、可穿戴电子设备和微机电系统(MEMS)等领域的快速发展，对微型化、高性能储能器件的需求日益增长。
传统的储能器件如锂离子电池和超级电容器，由于其尺寸较大、制造成本高以及难以与微电子器件集成等问题，已无法满足新兴应用的需求。
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