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文 献 综 述 随着能源危机和环境污染问题的加剧，清洁能源得到了广泛研究与开发。
太阳能光伏发电作为一种新型发电技术，因其具有资源充足、清洁、寿命长等优点，所以被认为是最有前途的可再生能源技术之一，现已成为可再生能源技术中发展最快、最具发展潜力的研究领域之一。
当前光伏市场上应用的太阳能电池主流是硅基电池。
由于晶硅电池采用高温扩散技术制备，会导致硅晶片的变形和热损伤，限制了电池转换效率提高，并且高温工艺在生产成本上也不具优势。
另一方面，非晶硅电池生产工艺温度较低，能够大面积生产，造价相对低廉，但是由于存在较多缺陷，效率偏低，并受光致衰退效应的制约。
带有本征层的异质结（HIT）太阳能电池结合了两者的优点，保证了较高的电池转换效率，同时采取低温生产工艺(< 200℃)，降低了成本，还避免了电池的光致衰退效应，具有较好的稳定性。
目前hit电池效率的世界纪录为24.7%，非常接近晶硅电池。
但是，目前全世界除了sanyo以外还没有其他机构成功制备出高效率的hit电池，sanyo成果复制的困难性也表明对hit电池结构深入理解的必要性。
="" 1.hit电池的发展历史[1]="" sanyo公司1974年就开始着手对非晶硅太阳电池技术的研究，当时的效率为10％（60mmｘ90mm），其在1983年提出的非晶硅/晶体硅堆积电池结构设计就是hit太阳能电池的雏形。
1990年，该公司最早提出了a-si/c-si="" 异质结太阳电池[2]，并称其为hit电池，只不过当时采用的薄本征层是微晶结构。
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