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文献综述
1.前言1.1等离子体1929年，朗缪尔（Langmuir）和汤克斯（Tonks）[1]首次提出等离子体这一概念，用于定义不同于固态、液态和气态的第四大物质状态。
等离子体是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质，由离子、电子以及未电离的中性粒子的集合组成，整体呈中性的物质状态。
等离子体按电离率高低可分为热等离子体（hot plasma）和冷等离子体（cold plasma）两种，可按离子所处状态分为平衡态等离子体和非平衡等离子体，也可按气体电离程度分为完全电离气体、部分电离气体和弱电离气体[2]。
1.1.1等离子体的产生等离子体是宇宙重子最常见的状态，而人工产生等离子体的方法有如下几种：（1）电晕放电（corona discharge）：当电极周围的电场极不均匀、压强较高时，会使周围气体发生电离和激励，从而电晕放电，常伴有嘶嘶的电流声和亮光。
根据施加电压的方式的不同，可分为直流电晕放电和脉冲电晕放电。
电晕放电作为气体放电最常见的一种形式之一，其在放电过程中产生的高活性粒子（尤其是OH等含氢的自由基）[3]具有很好的杀菌和净化效果，常常被人们运用于空气和液体净化器的制造[4]。
（2）辉光放电（glow discharge）：辉光放电一般发生在低气压下（小于10mbar,1mbar=102Pa），是一种稳定的放电形式。
而利用辉光放电源作为离子源与质谱仪器联接进行质谱测定的分析方法则被称为辉光放电质谱法（GDMS），常被学者们用于纯金属材料杂质的分析和测定[5].（3）介质阻挡放电（dielectric barrierdischarge，DBD）：因放电电极或放电空间中存在介质材料（绝缘材料），当电压足够高时，电极间的气体被击穿而产生放电，即产生了介质阻挡放电。
介质阻挡放电（DBD）是工业生产臭氧（O3）最有效的方法[6]（4）射频放电（radio-frequency discharge）：射频放电是指给电极施加高频电压从而使得电极周围气体发生电离产生低温等离子体。
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