真空蒸发镀膜仪的设计文献综述

 2021-09-27 20:31:44

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1.选题背景真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术,是表面工程技术领域的重要组成部分。

真空镀膜技术[1]是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜,从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的优越性能,达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。

因此真空镀膜技术[2]被誉为最具发展前途的重要技术之一,并已在高技术产业化的发展中展现出诱人的市场前景。

这种新兴的真空镀膜技术已在国民经济各个领域得到应用,如航空、航天、电子、信息、机械、石油、化工、环保、军事等领域。

从中国的真空镀膜技术及发展历史来看,是从20世纪60年代开始的,从无到有,从模仿设计、自行研制到技术引进,并在技术引进的基础上促进了自行研制和发展,特别是在20世纪80至90年代我国的真空镀膜技术及设备都取得了长足的发展,在一些薄膜的应用领域里甚至得到了跨越式的进展[3]。

但随着中国进入WTO和世界经济全球化进程的加快,我国的真空镀膜技术及设备已经面临着国外拥有先进的真空镀膜技术和设备的跨国公司的强有力的竞争和挑战,这种竞争和挑战迫使我们要同世界经贸组织的其他成员国一样,在同等条件下参与整个世界市场的竞争。

但机遇也伴随竞争和挑战降临,主要的机遇在于中国入世后将逐步成为世界各经济国的加工基地,同时设备制造的国际性优质配件的采购也将更容易,采购成本也会降低,国产设备的品质会得到大幅度的提高[4]。

从目前真空镀膜设备的市场发展状况来看,国外许多实力雄厚的真空镀膜设备生产商已在中国成立了许多合资或独资的加工企业,并将一些新的真空镀膜工艺技术和产品移植到这些企业中来,因此我国真空镀膜设备在今后三至五年内的主要市场除了国内的企业外,外商投资企业也是设备需求新的增长点[5]。

真空镀膜技术的应用是较早的。

[6]本世纪初大发明家爱迪生就提出了唱片蜡膜采用阴极溅射进行表面金属化的工艺方法[7],并于1903年申报了专刊,这便是薄膜技术[8]在工业上应用的开始。

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