毕业论文课题相关文献综述
文 献 综 述传感器是一种以测量为目的而被使用并且根据某些规则被转换成可用的输出信号的装置或设备。
它通常由转换元件和敏感元件组成,实现自动控制和自动检测。
MEMS传感器的研究始于20世纪60年代,能够代表该技术开端的首个硅隔膜压力传感器和应变计分别来自于霍尼韦尔研究中心和贝尔实验室。
压力传感器是MEMS传感器中影响最为深远的一类,其性能由测量范围、测量精度、非线性度、重复性和工作温度等决定。
随着自动化生产程度的不断 提高,对传感器的要求也在不断提高,必须研制出具有灵敏度高、精确度高、响应速度快、互换性好的新型传感器以确保生产自动化的可靠性。
不同的应用场景下，对压阻式压力传感器的性能要求均有不同。
为了扩展传感器的应用领域，提高传感器的性能成为了主要问题。
而弹性膜片、压敏电阻的面积、形状、分布位置等因素都会对灵敏度和线性度产生影响，因而，通过改变压阻式压力传感器的结构设计优化传感器性能成为了研究的重点。
一 本课题的研究现状1.1优化传感器参数方面的研究2007年清华大学Zhang Yanhong设计了膜厚为30um，薄膜宽度370-970um，拥有不同曲折形压敏电阻器的压阻感测结构，通过模拟和测试，分析了不同感压膜片宽度，压敏电阻形状及放置位置对传感器性能的影响。
优化 后传感结构体现出了线性误差（0.012%/FS），较高灵敏度（70.4mV/VFS）和较好的精度（0.16%/FS）。
剩余内容已隐藏，您需要先支付 10元 才能查看该篇文章全部内容！立即支付
以上是毕业论文文献综述，课题毕业论文、任务书、外文翻译、程序设计、图纸设计等资料可联系客服协助查找。
