文献综述
摘要：随着光学精密加工的发展，非球面元件已经得到了越来越广泛的应用。近年来，随着非球面应用的广泛和深入，人们对非球面的加工和检测技术的要求也越来越高。
利用轴向扫描的光干涉非球面测量技术是一种基于斐索干涉技术，在轴向扫描非球面的过程中不断测量轴向移动位置、顶点位置和零位区域的相对相位关系的非球面面型的一种绝对测量方法。这种测量方法既具有干涉检测法高精度的特征，又不需要辅助元件增加成本，还可以拓展干涉仪测试的横向和纵向的动态范围，提高测量的空间分辨率。
一、研究背景
1.1非球面
所谓非球面是相对于球面而言的，即与球面有所偏离的表面，二者都用来描述光学镜片的几何形状。球面是一种旋转曲面，球面上每一点的曲率半径是相同的，而非球面（沿子午线方向）上各点的曲率半径互不相同且有规律地变化，因而它能提供更大的自由度，具有更大的灵活性。
非球面的通用表达式如下【2】【3】：
表达式左边第一项表示一个基本的二次曲面，表达式剩余项表示高次非球面面型部分，a4、an为相应的高次非球面系数，以二次曲面为基础增加高次项时，由各系数值很容易知道高次非球面偏离二次非球面程度，其中c是顶点曲率，c=1/R,R为非球面顶点曲率半径，k为二次曲线常数，k=-e2，e为偏心率，由k，e的大小可以确定非球面的面型.
1.2非球面检测方法
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