文献综述（或调研报告）：
基于低温等离子体的先进材料合成在半导体工业，液晶显示器，涂层和可再生能源等多个领域中起到了变革性的作用[1-3]。同样，基于等离子体的刻蚀技术与光刻方法相结合使得半导体工业的摩尔定律得以成为可能[4]。同时等离子体可以用于材料的刻蚀、沉积以及纳米颗粒的合成[5]。
1.等离子体概述
等离子体（又称电浆）是在固态、液态和气态以外的第四大物质状态，其特性与前三者截然不同。气体在高温或强电磁场下，会变为等离子体。在这种状态下，气体中的原子会拥有比正常更多或更少的电子，从而形成阴离子或阳离子，即带负电荷或正电荷的粒子。气体中的任何共价键也会分离。由于等离子体含有许多载流子，因此它能够导电，对电磁场也有很强的反应。
等离子体是由未结合离子所组成的电中性物质，其中阴离子和阳离子的总电荷约等于零。虽然这些离子不相互结合，但这并不意味著它们不受到力的影响：等离子体中的每颗带电粒子都受到其他粒子移动时产生的电磁场的影响。等离子体的定义有三个重要部分：
等离子体近似：带电粒子之间的距离必须足够接近，使得每颗粒子都能够影响许多邻近的粒子，而不是只影响最接近的粒子，从而产生集体性效应。只有当每颗带电粒子的影响范围内都有平均超过一颗带电粒子，等离子体近似才是有效的。这一影响范围称为德拜球，是一个半径为德拜长度的球体空间。德拜球内的粒子数量称为等离子参数，由希腊字母Lambda;表示。
体积相互作用：相对等离子体的整体大小来说，德拜长度必须很短。这意味著相互作用主要在等离子体的体积内部，而不是它的边缘上。若符合这个准则，则等离子体可视为准中性。
等离子体频率：电子和电子之间的碰撞频率必须比电子和中性粒子之间的碰撞频率高得多。若满足此条件，则静电效应会比普通气体动力学效应强得多。
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