文献综述
本课题的现状及发展趋势：
随着光刻技术及微纳米加工技术的发展，薄膜体声波谐振器（Thin film bulkacoustic wave resonator FBAR）得到了高速发展。作为一种近几年发展起来的新型MEMS器件，FBAR在无线通信、传感器等领域的发展前景得到了广大科研人员的关注。目前FBAR主要运用领域有PCS,CDMA和W-CDMA用射频滤波器和双工器，GPS接收机用滤波器及FBAR振荡器等。精确建模是设计高性能FBAR器件的关键。快速发展的通信、导航、电子对抗装备和相控阵雷达需要高性能、小体积的射频前端，射频滤波器是射频前端的核心组成部分。
薄膜体声波谐振器（FBAR）声波器件具有体积小,成本低,品质因数（Q）高、功率承受能力强、频率高（可达1-10GHz）且与IC技术兼容等特点，适合于工作在1-10 GHz的RF系统应用，在不到二十年的时间里，占据了整个无线通讯场的应用领域。在传感器应用领域，单个FBAR或者FBAR阵列用于分子质量检测、生化检测（DNA检测、抗体抗原检测）、液体检测、气体检测、压力检测、形变检测、加速度和惯性检测、温度检测、紫外线检测、爆炸物检测等等领域。
本课题的价值：
人类社会已经进入了高速发展的信息化时代。从理论上讲，信息的获取、传输及处理是制约信息化发展的关键因素。而信息的获取往往涉及到传感器技术、通信技术及计算机分析技术等领域。如果说传感器技术是信息化的感官，那么通信技术就可以称之为信息化的神经。随着近代微纳米加工技术的高速发展，尤其是光刻技术的进步，无论是传感器还是通信电子器件都在朝着微型化、集成化的方向发展。20 世纪末，射频集成电路（RFIC）技术的进步推动了无线通信终端—双工器的集成化发展。而MEMS 技术的发展，也促使传感器技术的发展进入了快车道。最初，FBAR技术的研究主要集中的无线通信领域，相关的滤波器、双工器等已经实现了市场化，而基于FBAR技术的传感器的研究则起步较晚，故此还有很大的研究价值，在新一代无线通信系统领域具有广阔的应用前景。
参考文献：
[1]Zhou C J, Yang Y, Shu Y, et al. Visible-light photoresponse of AlN-based film bulk acoustic waveresonator[J]. Applied Physics Letters, 2013, 102(19): 191914.
[2]Li X, Liang J, Zhang H X, et al. Resonantand resistive dual-mode uncooled infrared detectors toward expanded dynamic range andhigh linearity[J]. Applied Physics Letters, 2017, 110(26): 263502.
以上是毕业论文文献综述，课题毕业论文、任务书、外文翻译、程序设计、图纸设计等资料可联系客服协助查找。
