摘要
M-Z传感器作为一种重要的传感元件，在温度测量领域扮演着至关重要的角色。
然而，温度变化对其性能的影响一直是制约其发展和应用的关键问题之一。
近年来，新型微结构M-Z传感器的出现为解决这一问题提供了新的思路。
本文首先介绍了M-Z传感器的基本原理和温度特性，然后综述了新型微结构M-Z传感器在温度特性研究方面取得的最新进展，重点阐述了不同微结构的设计方案、材料选择、制备工艺以及温度补偿方法等关键技术，并对各种方案的优缺点进行了比较分析。
最后，对新型微结构M-Z传感器温度特性研究的发展趋势进行了展望，为未来该领域的研究方向提供参考。
关键词：M-Z传感器；温度特性；微结构；温度补偿；文献综述
M-Z传感器，全称为马赫-曾德尔干涉仪（Mach-ZehnderInterferometer，MZI）传感器，是一种基于光波干涉原理的光纤传感器。
其基本结构由两个3dB耦合器和两臂长度相等的光纤组成，其中一臂作为参考臂，另一臂作为传感臂。
当外界环境发生变化时，传感臂的光程会发生改变，从而引起干涉光强的变化，通过解调干涉光强的变化量，就可以实现对被测量的传感。
M-Z传感器具有灵敏度高、抗电磁干扰能力强、结构简单、易于集成等优点，被广泛应用于温度、压力、应变、折射率等物理量的测量。
剩余内容已隐藏，您需要先支付 10元 才能查看该篇文章全部内容！立即支付
以上是毕业论文文献综述，课题毕业论文、任务书、外文翻译、程序设计、图纸设计等资料可联系客服协助查找。
