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文献综述
毕业设计(论文)开题报告学生姓名： 董祥涛学 号： 2001170521所在学院： 化学与分子工程学院专业：应用化学 设计(论文)题目：格栅式MEMS气体微流量传感器的封装测试 指导教师： 韩毓旺 2021 年3月8日 毕 业 设 计（论 文）开 题 报 告 文 献 综 述气体流量的测量已应用到工业控制，医疗，汽车，化工和制药等领域[1]。
传统的流量传感器体积过于庞大不利于气体流量的测量，传统的流量传感器有涡轮流量传感器，旋进漩涡流量传感器，差压式流量传感器，涡街流量传感器等[2]。
1974年，VanPutten 和 Middelhoek 首次利用标准硅技术制作出硅流量传感器。
1980年代以来，微机电系统技术的迅速发展为流量传感器提供了技术创新的新条件。
微机电系统MEMS最早被提出是在1988年，最初是由美国加州大学伯克利分校Tai 等人，通过利用微电子平面加工技术研制出直径为100微米硅微机械马达，将机械结构，电路集成在一个芯片当中，让人们看到了完整的微型机电系统实现的可能[3]。
因此，MEMS的概念应运而生，并成为国际研究重点话题。
1. 热式微流量传感器原理与发展现状1.1 MEMS热式流量传感器原理热式流量传感器是首先被重视的微流量传感器，它是以托马斯提出的流体的放热量或吸热量与该流体的质量流量成正比理论为基础[4]，利用热源对传感器敏感元件加热，流体流动时会带走部分热量，使探头的温度场发生改变，从而建立起温度场变化与流体流量之间的函数关系，并以此反演出流量。
20世纪80年代以前，由于微加工和微电子工艺还未完全成熟，MEMS热式流量传感器还处于探索阶段，进入20世纪90年代以后MEMS热式流量传感器由于微加工工艺和微电子工艺的逐步成熟而快速发展，并成为微型流量传感器的主流[5]。
基于传热学原理的微型流量传感器按其敏感元件的工作原理不同可分为三类甲:热损失(hot loss)、 热温差(calorimetric)和热脉冲型(heat impulse)。
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