毕业论文课题相关文献综述
一、课题研究背景及意义气体已渗透工业、农业、航天、微电子行业等各个领域中，每个行业对气体纯度都有不同程度的需求。
湿度是气体各项指标中一个重要参数，直接关系到生产安全和产品质量。
虽然湿度的测定方法相对于其它杂质含量的测量起步较晚，且容易受压强、温度等多种因素影响，是最难准确定量的技术参数，但气体中水分含量确是各个行业要求特别苛刻和关键的指标参数，因此湿度测量是有必要的。
在湿度测量中难度最大，成本最高的地方主要集中在低湿环境下的露点的湿度测量。
主要体现在，半导体制造、薄膜晶体管以及光伏等电子工业，对电子特气杂质含量的要求越来越严格。
水产生氢键的能力较强，易使电子特气水解和氧化，导致产品质量下降，因此电子特气中的微量水分检测十分重要。
在半导体制造业，随着集成设备的完善和快速发展，控制高纯气体中微量残余水分已成为主要问题，高纯气体主要用来阻止晶片表面的污染，应控制气体的露点低于100℃。
在天然气行业，水露点是天然气质量和安全的重要指标之一，如果含水量过高，天然气中的较重烃类会析出液态烃，增加管道输气的阻力，严重时会堵塞管道和阀门，构成安全隐患。
在电力行业，湿度测量是电气设备安全运行的必要保障。
在市电传输设备中，公用变压器会为保养定期停运。
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