超高速空气电主轴的动静态分析与优化文献综述

 2021-11-02 20:44:49

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现代高科技领域新技术的发展,对零部件的加工精度要求从微米上升到亚微米,纳米级,在这个过程中超精密加工技术就能实现。

超精密生产技术能反映一个国家制造业的发展水平,关键在于超精密机床主轴。

而超高速空气静压电主轴又称为气浮电主轴,由于以空气作为支撑,无其他摩擦阻力,具有高转速、高回转精度、低振动性等特点,能极大的满足现在制造业以及世界装备业对精密零件的要求[1]。

一、国内外精密机床发展历史、现状与趋势超精密加工技术是20世纪60年代为了适应核能、大规模集成电路、激光和航天等尖端技术的需要而发展起来的精度极高的一种加工技术,要求尺寸精度和形位精度优于亚微米级,表面粗糙度为纳米级。

我国虽然是制造大国,但还不是一个制造强国,与发达的国家相比仍存有差距。

美、英、德国在上世纪 70年代就开始生产超精密机床产品。

20世纪80年代,美国LLNL 实验室研制成功两台大型超精金刚石车床。

一台是卧式DTM-3超精密金刚石车床, 该机床采用多路激光干涉测量系统, 可对各轴进行直线和偏移误差补偿。

其系统分辨率为2.5nm, 最大加工直径2100mm,加工精度方面: 形状误差可达28nm,圆度和平面度可达 12.5nm, 表面粗糙度 Ra 可达4.2nm。

另一台是 LODTM大型立式(1.65 0.5m)光学金刚石车床, 机床主轴系采用液体静压轴承,位置测量系统采用分辨率为0.625nm的7 路双频激光测量系统,50 r/min时的主轴回转精度小51nm,加工精度可达28nm,可加工直径 1.65m、高0.5m、质量1360kg的工件。

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