毕业论文课题相关文献综述
文 献 综 述伴随当代科技的进步与发展，我国航空航天、精密仪器、军事工业、新能源等领域对超精密加工技术的要求越来越高。
超精密加工技术作为衡量一个国家科技实力的重要标志之一，研发关键在于超精密机床主轴。
高速电主轴因其机床与高速电机一体化，不含传统的齿轮传动、链传动等中间环节，从而极大得提升了主轴传动效率[1],故如今广泛地运用于机械加工与制造业。
一、国内外精密机床发展历史、现状与趋势超精密加工技术是20世纪60年代为了适应核能、大规模集成电路、激光和航天等尖端技术的需要而发展起来的精度极高的一种加工技术，要求尺寸精度和形位精度优于亚微米级，表面粗糙度为纳米级[2]。
目前，超精密加工技术处于国际领先地位的有美国、英国、日本等发达国家。
其中美国是开展超精密技术研究最早的国家，早在20世纪50年代，首先发展了空气轴承主轴的机床，应用于航天等尖端科技，加工激光核聚变反射镜、战术导弹和载人飞船的大型零件。
20世纪80年代，美国Union carbide公司、Moore公司和美国空军兵器研究所为加工一个以形状精度0.1μm，直径为800mm的大型球面光学元件，联合制定了针对超精密机床研究的POMA（point one micrometer accuracy）计划[3]，这是一个里程碑式的科研计划。
1984年美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室研制出一台大型光学金刚石车床，可实现加工大型光学零件直径达1.4m，面 形 精 度 为 0.025μm，表面粗糙度Ra≤5nm，至今仍代表了极高水平的超精密加工设备。
现如今美国Moore公司的Nanotech系列和Precitech公司的Nanoform系列超精密机床基本代表了当今商品化超精密机床的技术水平和发展趋势 [4]。
英国从事超精密加工技术研究也比较早，代表为Cranfield大学。
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