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掩模电解加工蛇形流道设计彭博（南京工业大学 机械与动力工程学院，南京 211816）摘要：课题从电解加工原理,化学特性和电解加工的分类等方面介绍了电解加工的目前的应用和发展情况。
本课题主要介绍模板电解加工加工大面积阵列群孔时，为满足较大截面积内的电解液流速，则多采用窄流道进行分步多次装夹的方式进行加工。
关键词：蛇形流道；流场；阵列群孔；1.课题目的及背景介绍随着现代科学技术的发展, 产品功能集成化、结构小型化的要求越来越显重要, 越来越多的微细结构出现在工业应用中, 微细加工的研究得到了广泛的重视。
近几年来, 由于许多其他领域新技术新工艺的引入以及对电解加工过程机理的更深入研究, 电解加工一改原来加工精度不高的特点, 被应用于高精度微细结构的加工中, 在微细电解技术方面的研究迅速发展起来。
电解加工是利用金属在电解液中发生电化学阳极溶解的原理对材料进行腐蚀成形的加工方法。
从加工机理上看, 工件阳极上的金属原子在加工中不断地失去电子成为离子而从工件上溶解, 其材料的减少过程以离子的形式进行。
这种微离子去除方式使电解加工具有微细加工能力。
又因为电解加工过程中工具电极和工件不接触, 具有加工材料范围广泛, 不受材料强度、硬度、韧性的影响, 工件表面无加工应力、无变形以及热影响区、无工具电极损耗、加工表面质量好等一系列独特的优点掩膜电解加工技术是当前电化学加工领域中最活跃也是最热点的研究方向[1]。
近几年来, 掩膜电解加工技术延续了20世纪90年代以来的良好发展势头[2], 工艺技术水平和设备性能均得到了稳步发展, 应用领域进一步扩展。
掩膜电解加工是结合了掩膜光刻技术的电解加工方法。
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