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文献综述
文 献 综 述1、选题背景和意义随着加工制造业技术的发展,超精密加工对与其机床高精度运动部件的静、动态特性的要求越来越高。
而液体静压转台作为超精密机床的关键部件之一,需要具有精度高、刚度高、动态性能好等多个优良特性,液体静压转台的设计制造以及对于其性能的研究，对于超精密加工业来说都具有非常重要的意义。
回转工作台在四、五轴机床之中是关键部件以及核心，其中的铣、磨、抛光都是加工高精度光学系统零件的主要工艺。
要想实现零件的超精密加工，不仅仅需要通过轴系的微量进给来实现材料的微量去除，还对于机床轴系的良好的动态刚度和高运动精度有着极大的需求。
转台的轴向运动精度、径向运动精度、刚度，角刚度等一系列指标都直接影响着加工零件的质量，因此，在超精密机床的研究过程中，对于更高精度、高刚度的超精密液体静压转台而言，其设计与研制，也全都是必不可少的一部分。
静压转台采用的液体静压轴承，与传统的转台相比，其不仅仅具有良好的静、动态特性、此外其寿命长短以及工作的适用速度范围宽等等也既有良好改善，其精度更高、刚度更高，承载更大，运动起来也更加的平稳，当轴承转动的速度不够高时，其温度升高也不严重，而且不容易生锈。
所以，精密静压转台的设计研究是我国超精密加工领域所避不开的一环，静压转台与静压轴承的设计制造，我国与国外还有较大的差距，所以，对与此课题的研究对于我国超精密加工的发展有着重大意义。
2、精密静压转台的国内外研究现状2.1精密静压转台的研究现状我国对于液体静压转台的研究起步较慢，但是在我国许多科学家与学者的努力下，近年也有了较大的突破与发展。
我国对于超精密加工的理论研究以及对于超精密机床的研制开始于本世纪初。
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