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文献综述
1、研究背景随着国际竞争的日益激烈，超精密加工逐渐变为影响国家综合国力的关键技术，受到了世界各国的密切关注。
无论是在民用领域还是军用领域，超精密加工都扮演着很重要的角色。
尤其是在尖端科技和航空国防领域，超精密加工占具了至关重要的地位，高精度的复杂零件以及精密的光学仪器镜面的加工都依赖于超精密加工技术[1]。
因此，超精密加工已经站在了当今科技的前沿，是国家不可缺失的关键技术。
超精密加工可以保证工件的形位及尺寸精度优于亚微米级，且表面粗糙度达到几个纳米，其发展直接关系到国家尖端科技及其国防实力，已引起世界各国的高度重视。
超精密机床作为超精密加工的生产母机，直接决定了零件加工的精度与效率。
对于超精密机床的研制，当前水平较高的国家主要是美国、日本和英国，而德国和荷兰等国家的发展也很迅猛[2]。
国内对超精密机床的研究也取得了一定的进展，但是由于发达国家的技术封锁，其加工的稳定性与零件的精度都与国际先进水平存在一定差距。
当前数控机床领域的控制系统主要分为专用的数控系统和开放式数控系统两种[3]。
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