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文献综述
超精密加工技术是一项新兴的多学科交叉技术，其发达程度影响这一系列军用和民用工业的发展水平。
超精密加工机床设备是超精密加工的直接实现者，影响着超精密加工技术发挥作用的规模。
精密静压主轴是超精密机床的核心部件，其具备高速、高精度、无温升磨损小等优点，从而被广泛运用于微小零件及高精度表面的加工。
主轴性能直接影响机床的加工精度，但其存在承载能力有限、受不平衡状态的影响较大、刚度低等局限性，限制了其应用范围的进一步扩大。
因此有必要对空气静压主轴的静态性能及动态稳定性进行深入的研究。
机械制造领域的发展已趋向于超精密加工技术，各国也都非常重视此技术的发展。
近年来，包括我国在内的各个国家都陆续提出了关于制造业发展的战略。
超精密机床是制造业实力的标志其直接决定零件精度、工作效率和成品工件的可靠性[4]。
此外，超精密加工技术与战略武器的研制、计算机技术的发展之间的关系也密不可分，考虑到技术封锁的存在，必须大力发展超精密技术，依靠自主创新一步步夺取技术制高点，才能助力国家安全，促进经济发展。
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