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文献综述
文献综述课题背景掩模电解加工是微细电解加工的一种。
微细电解加工是指在微细加工范围内，应用电解加工得到高精度、微小尺寸零件的加工方法。
掩膜微细电解加工由光刻技术与电解加工技术相结合，加工工件尺寸可达到微米级，甚至是亚微米级。
这一技术的基本原理是在工件表面涂上一层光敏材料，通过光刻技术去除具有一定图案的光敏材料，用一个绝缘的平板作为阴极进行电解加工，将具有一定图案的裸露表面加工到一定深度。
最终达到所要求的工件形状。
除具有电解加工的优点外，微细电解加工也具有对装备要求高、加工间隙小、加工效率低等特点。
在加工开始阶段，由于阳极表面电流分布对光刻胶膜开口角度非常敏感。
因此阳极工件表面边界处电流比中心处电流强，随着加工的进行。
型腔成形会使电极表面电流重新分布，边界处电流强度逐渐减弱，直至与中心处一致，此时表明中间的材料已经被完全蚀除。
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