文献综述
一、研究背景及意义
MEMS扫描微镜是一种微光机电系统（MOEMS）器件，是激光扫描微显示技术的核心，具有体积小、能耗低的特点。它可以和大规模集成电路的工艺想匹配，实现批量生产。MEMS扫描微镜常常用于光通信、光开关、光扫描器的驱动镜、成像、激光雷达等领域。在激光雷达（LIDAR）系统中，需要适用于对高功率光束的聚焦和偏转的大孔径、高速率的扫描微镜。传统的应用于激光雷达的扫描器件都是比较笨重、对光线偏转很慢的器件，并且有大量的功率损耗，不符合低成本、便携式激光雷达系统的要求[1]。而扫描微镜可以克服这些缺点。近年来，在各个领域对扫描微镜的研究广泛开展，具有巨大的应用前景和市场价值。
二、MEMS微镜结构概述
MEMS扫描微镜是激光雷达的扫描部件。由单晶硅加工制成，具有可靠性高、体积小、重量轻的特点。它是一种典型的微机械谐振结构，结构最小尺寸100微米，工作在1KHz和10KHz的谐振频率上。其基本结构如图1所示， 包括边框、X/Y方向的扭力梁、驱动单元（图中是电磁驱动）[2]。结构达到的目的就是在X/Y方向完成精确的角度旋转，作为反射镜，将激光信号发射出去。是激光雷达系统中的扫描机构。
图1、双轴MEMS扫描微镜的结构与工作原理示意图 [3]
三、MEMS微镜工作方式
目前，按照驱动方式的不同，扫描微镜主要可分为：静电驱动式（ES）和电磁驱动式（EM）。
（1）静电驱动式（ES执行）
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