一种ITO电极DBD装置设计及放电特性研究文献综述

 2021-10-28 20:33:07

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文 献 综 述一.课题研究背景及意义低温等离子体是一种处于非热平衡状态的等离子体,电子温度远远大于离子或中性粒子的温度,并且整体温度接近于室温。

产生低温等离子体最常用的一种方式就是气体放电。

对于不同领域中的应用,气体放电的形式也不尽相同。

目前,产生低温等离子体的气体放电形式主要有辉光放电、电晕放电、介质阻挡放电等[1-4]。

其中介质阻挡放电(DBD)已经被广泛应用于不同的领域,在臭氧制造、污染控制、表面改性、表面清理、照明、激光、刻烛、薄膜沉积等应用方面创造出了巨大的市场价值,展示出了广泛的应用前景[5-9]。

DBD在不同的放电装置尤其是不同的pd值(气压D与电极间隙d的乘积)下会有不同的放电模式。

在较大pd下,DBD一般处于流光模式,放电通道是大量单独击穿的微小通道(即所谓微放电),呈现空间和时间上的无规则细丝,又称为丝状放电,此时DBD一般是空间不均匀的。

而且,在合适的参数条件下,空间大量放电丝可以自组织形成规则排列的斑图结构。

在较小pd下,DBD处于辉光放电模式,放电通常在个电流脉冲内完成,空间各个部分电流的形成具有很好的时间一致性:而且放电的空间分布一般表现为沿介质表面上的均匀放电结构。

但在一定的放电条件下,辉光DBD也会呈现具有一定时空结构的自组织斑图结构,辉光DBD均匀模式和斑图结构会相互进行转化[10-13]。

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