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文 献 综 述1.六轴传感器[10]的应用现状与发展趋势 六维加速度(Six degree-of-freedom (DOF) acceleration)传感技术是实现物体三维空间运动相对于参考惯性坐标系的三维线加速度和三维角加速度的传感和测量的多维运动传感技术。
六维加速度传感技术在工业自动化控制系统、交通运输工具、机器人控制系统、导航制导设备、互动娱乐设备、医疗保健设备和地震预测装置中有着广泛的应用前景。
目前,已经提出的各种六维加速度传感原理和结构复杂,导致开发的六维加速度传感器尺寸较大或工艺复杂。
此外,缺乏完善的六维加速度传感器的传感特性评定方法和标准,制约了六维加速度传感器的实用化。
因此,探索新的六维加速度传感方法,开发结构简单、成本低、精度高的六维加速度传感器,建立六维加速度传感器的传感特性评定方法和标准是六维加速度传感技术发展的必然要求。
2.位移传感器测量技术[11]现状传感器技术是现代科技的前沿技术， 是测量技术、半导体技术、计算机技术、信息处理技术、微电子学、光学、声学、精密机械、仿生学、材料科学等众多学科相互交叉的综合性高新技术，是现代信息技术的三大支柱之一。
位移是指物体位置对参考点产生的偏移量，是指物体相对于某参考坐标系一点的距离的变化量，它是描述物体空间位置变化的物理量。
位移传感器又称为线性传感器， 是将位移转换成电量的传感器。
位移传感器的发展经历了两个阶段，经典位移传感器阶段和半导体位移传感器阶段。
20世纪80年代以前，人们以经典电磁学为理论基础，把不便于定量检测和处理的位移、位置、液位、尺寸、流量、速度、振动等物理量转换为易于定量检测、便于作信息传输与处理的电学量。
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