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文献综述
文 献 综 述摘要近年来，微电子工业迅猛发展，推动了洁净室与洁净空调的发展，同时也对洁净室的设计提出了更高的要求。
随着电子芯片生产工艺的不断进步，对生产环境及其它配套设施的要求也越来越严格，尤其是8寸、12寸芯片的生产对洁净度、温湿度和空气中分子级污染物提出了很高的要求。
根据《电子工业洁净厂房设计规范》（GB50472-2008）中有关电子工业厂房空气净化和空调通风设计的内容，本项目完全遵守其中的强制性条文，并在一定情况下满足一般性条文的要求。
引言 近年来，微电子工业迅猛发展，既推动了洁净室与洁净空调的发展，同时也对洁净室的设计提出了更高的要求。
微电子工业洁净厂房的设计是一项综合技术，只有充分了解洁净厂房的功能、地理位置、气候条件等特点并对洁净空调技术理解深刻，做到具体问题具体分析，才能做出优秀的项目[1]。
尖端的电子芯片对于精密性，可靠性都有着极高的要求。
正常的集成电路，电子元器件的生产及组装过程都要求在受控环境条件下进行操作。
生产厂房需要根据生产要求对室内空气的洁净度、温度、相对湿度以及压力、噪声、振动、静电等参数进行控制。
微电子厂房与其他工业厂房相比，有着空气洁净度等级高、气流方式大部分为单向流、送风量大、室内温湿度要求高、噪声振动要求高、等要求[2]。
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